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| 型号 | QJ1200-PE60 | QJ1200-PE60Y |
| 工作温度 | ≤1000℃ | ≤1000℃ |
| 升温速率 | 10℃/min | 10℃/min |
| 气体预热区 | 无 | 200mm |
| 沉积区长度 | 200mm | 440mm |
| 恒温区长度 | 100mm | 220mm |
| 石英管管径 | 50/60mm | 50/60/80/100mm |
| 控温方式 | 30段PID程序控温 | 30段PID程序控温 |
| 射频功率 | 100/300/500W自匹配 | 100/300/500W自匹配 |
| 射频频率 | 13.56Mhz | 13.56Mhz |
| 真空泵抽速 | 4L/s | 4L/s |
| 真空度 | ≤10Pa | ≤10Pa |
| 进气种类 | 1~4种 | 1~4种 |
| 功率 | 220V/4kw | 220V/7kw |
