多晶硅还原炉内的八大反应

钟罩式多晶硅还原炉内各反应主要有以下8种

⑴SiHCl3+H2=Si+3HCl↑(1050-1100℃)

⑵2SiHCl3=Si+2HCl↑+SiCl4 热分解

⑶SiHCl3=SiH2Cl2+HCl↑(900-1000℃)

⑷Si+2HCl=SiH2Cl2(＞1200℃或低温腐蚀)

⑸SiHCl3=SiH2Cl2+SiCl4（Si+SiCl4=SiCl2）

⑹SiCl4+2H2=Si+4HCl↑（高温下）

⑺4SiHCl3=Si+2H2↑+3SiCl4（热分解）

⑻Si+4HCl=2H2↑+SiCl4（腐蚀）

1、2为主要的其余的为次要的。但温度超过规定值或者低于规定值，其他的几个反应就要多起来了，影响沉积速率甚至产品质量。所以，多晶硅生产中，对还原炉内的温度控制相当严格的，是专门有一套系统来控制的。