CVD系统

CVD系统产品简介常规CVD系统由管式炉、流量混合器、真空体统三部分组成。改系统可以满足绝大部分气氛或真空环境下的小样品试验。每个部分都

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产品介绍

CVD系统

产品简介
常规CVD系统由管式炉、流量混合器、真空体统三部分组成。改系统可以满足绝大部分气氛或真空环境下的小样品试验。每个部分都可以单独匹配成不同部件以满足不同的实验条件，如流量计可以选择浮子流量计或质量流量计，单通道或多通道，管式炉可以选择1200℃/1500℃/1700℃单温区或者多温区炉子。

主要参数

型号	QJ1200-CVD60	QJ1700-CVD60
工作温度	≤1100℃	≤1600℃
升温速率	10℃/min	10℃/min
气体预热区	无	200mm
加热区长度	200/440mm	200/300mm
恒温区长度	100/220mm	50/100mm
管径	50/6/80/100mm	50/60/80mm
控温方式	30段PID程序控温	30段PID程序控温
真空泵	机械泵/分子泵	机械泵/分子泵
真空度	≤10^-3Pa	≤10^-3Pa
进气种类	1~4种	1~4种

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